SK子公司测试光罩基板样品,逐渐降低对日本材料依赖

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SK子公司测试光罩基板样品,逐渐降低对日本材料依赖

SK 旗下子公司 SKC 目前正对用于半导体制程的光罩基板(Mask Blank)的试作样品展开测试,预计 2020 年下半年正式展开量产。

此外,SKC 预计将在今年下半年大规模生产高端掩模坯料,从而帮助姊妹公司 SK 海力士实现自给自足。

据报道,韩国的光罩基板约 90%依赖日本供应,同时光罩基板也是韩国大量进口自日本的 20 种高科技材料之一。SKC 于 2018 年起建设投资额高达 430 亿韩元的光罩基板厂,已在去年落成,其在韩国政府的支持下能加快运营,进而减少韩国半导体厂对日本材料的依赖。

SKC 与 SK 海力士同属于 SK 集团旗下,自 1976 年成立以来,在韩国最 早开发及生产了不计其数的薄膜、化学、材料领域的产品,其核心部门为薄膜和化学部门。

2019 年 7 月,日本经济产业省宣布,将对用于智能手机及电视机的半导体等制造过程中需要的三种材料加强对韩国的出口管制,这三种材料分别为用于半导体清洗的氟化氢、用于智能手机显示屏等的氟化聚酰亚胺,以及涂覆在半导体基板上的感光剂“光刻胶”。

对此,韩国也出台了相关措施以应对日本针对韩国的出口管制措施。如提出了 100 大核心战略产品国产化计划,将投入 7.8 万亿韩元的研发费用,在 1 至 5 年内实现核心战略产品国产化,而韩国企业也在加速在该领域的国产化。

2019 年,外媒曾报道,SK 海力士已开始测试从国内采购的高纯度氟化氢,而三星电子也开始在半导体生产线上试用韩国企业加工的氟化氢。

2020 年初,国外媒体曾报道称,韩国产业通商资源部表示,韩国化工企业已确立能以高纯度大量生产氟化氢的制造技术,氟化氢被用于晶圆的清洗等方面。

韩国产业通商资源部的郑升一次官 20 日在视察 SKC 位于中部忠清南道天安市的工厂时强调,必须在材料、零件、设备等政策方面迅速交出成果。特别是日本于去年 7 月开始 就对韩国展开严格出口限制的 3 种高端化学材料,务必要在年内达成安定供应的目标。

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